TEOS-传输模块- 正硅酸四乙酯传输模块
该传输模块使得在System100和System133中可进行基于TEOS的PECVD
- 沉积具有良好的均匀性和保形性
- 为特定目标而设计的集成化方案
- 优化热传输线路
- 易通源和更换源
- 灵活的安装选项
- 可升级到现有PlasmalabSystem100和PlasmalabSystem133气相沉积设备
- 使用可选的夹式手套箱，加热的TEOS模块可方便的访问，安全的转换
- 该模块可以连接到超净间外部系统以保证安全和健康
- 二氧化硅沉积可控性好
完整的TEOS PECVD系统可以：
- 高品质，高保形的沉积二氧化硅，应用于光子器件，绝缘层和其他结构
- 脉冲高/低频功率混合控制薄膜应力
- 通过控制氧自由基来控制沉积方向以及台阶覆盖角度
- 图片
- TEOS传输模块
- 工艺工具硬件
- 气体输运
- 支持
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- 有风扇的加热炉
- 内务操作控制阀
管路采用Schumache BK1200SSH容器标准，入口阀（与导管连接）是1 / 4英寸母口的封口;出口端 用1 / 2英寸的VCR公口连接到气体空间。 其他阀配置根据要求提供。 - 通往反应室的气体管线加热
- 可选择的手套箱和提取装置，用于起泡器更换
- 加热-冷却器，用于顶端电极和气体入口端组合加热
- 反应室侧壁加热配套元件
- 分路歧管上的氩气管线和质量流量控制器（ MFC）
- 主要歧管上的氧气管线
牛津仪器致力于支持我们客户的成功。 我们认识到，这需要世界一流的产品辅以世界一流的支持。 我们的全球服务在各地分部的支持下，可为你在世界任何地方提供快速支持。全球服务和支持
我们可以提供：
- 量身定制工的艺和服务协议，以满足您的需求
- 全方位的培训课程
- 快速获取原装备件和配件
- 系统升级和翻修
