系统支持功能
牛津仪器在工艺软件和拥有设备的成本方面提供了全面的补充支持。 我们内部团队的专业的应用工程师和技术支持工程师将保证牛津仪器等离子技术系统平稳运行。
- 工艺设备软件
- 设备保有成本的解决方案
牛津仪器PC2000 TM软件是清晰性和易使用性上享有盛誉，可以加快工艺操作人员的培训过程，同时为工厂管理人员和服务人员保留系统全部功能。
- 对用户的工艺设备系统的控制和监控前端都在同一个可视化界面内，
- 可以通过1个界面或电脑控制一个设备组
- 工艺"'配方"的编写、储存和调出都通过同一软件，建立工艺数据库
- 密码控制的用户登录允许不同级别的用户访问和工作：从'一键式'运行操作到使用所有系统功能
- 持续不断的工艺数据记录，可以跟踪每个晶片和每步工艺
- GEM/SECS全兼容。
我们与我们的客户共同创造合适的系统、工艺和支持服务包，以满足您的特殊需求，所以我们的各种服务级别协议（SLA）将根据您的需要定制。
包括：
- 及时的技术支持工程师访问和技术热线电话
- 可选择将支持覆盖范围扩大到全天24小时
- 定期预防性维护要求
- 通过我们世界范围内的零件网点进行详细的备件管理选择，包括客户专门指定的备件储存，
- 优惠的备件价格
- 工艺培训
- 经过认证的维护培训课程，客户自己的工程师进行预防性维护和初级故障排除的培训
