研发-研发设备

牛津仪器的软件清晰、易于使用、易于学习，专为客户的系统而配置。 利用可视化界面控制和监测工艺，并可用1个界面或电脑控制一个设备组。

工艺"'配方"的编写、储存和调出都通过同一软件，建立工艺数据库。 在盒到盒和集群系统中，用户可每个晶片的单独的程序联结在一起，并运行一套完整的工艺（一步、循环和重复）。 密码控制的用户登录允许不同级别的用户访问和工作：从'一键式'运行操作到使用所有系统功能。 持续不断的工艺数据记录，可以跟踪每个晶片和每步工艺，兼容GEM/SECS。

牛津仪器的工艺设备具有单晶片和批量处理能力，晶片尺寸范围从50mm到300mm。 具体的晶片处理信息上可以到各个产品的网页上查询。

牛津仪器致力于支持我们客户的成功。 我们认识到，这需要世界一流的产品辅以世界一流的支持。 我们的全球服务在各地分部的支持下，可为你在世界任何地方提供快速支持。

高性能和高均一性的工艺意味着生产力和设备使用效率的提高。 加上出色的可靠性，就可以降低拥有牛津仪器工艺设备的成本。在牛津仪器防性维护和打包服务合同的支持下，可确保系统运行时间最大化。