生产设备
牛津仪器的生产设备
牛津仪器的生产设备，是建立在200毫米， 300毫米单晶片/多晶片批处理模块和平台上，为多种应用提供了良好的均匀性和大的生产量。
牛津仪器的生产设备：
| 等离子蚀刻与沉积
原子层沉积 离子束蚀刻与沉积
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物理气相沉积 失效分析 纳米生长
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- 软件
- 晶片处理
- 支持
- 设备保有成本
牛津仪器的软件清晰、易于使用、易于学习，专为客户的系统而配置。 可视化界面控制和监测工艺，并可用1个界面或电脑控制一个设备组。
工艺"'配方"的编写、储存和调出都通过同一软件，建立工艺数据库。 在盒到盒和集群系统中，用户可每个晶片的单独的程序联结在一起，并运行一套完整的工艺（一步、循环和重复）。 密码控制的用户登录允许不同级别的用户访问和工作：从'一键式'运行操作到使用所有系统功能。 持续不断的工艺数据记录，可以跟踪每个晶片和每步工艺，兼容GEM/SECS。
牛津仪器的工艺设备具有单晶片和批量处理能力，晶片尺寸范围从50mm到300mm。 具体的晶片处理信息上可以到各个产品的网页上查询。
系统升级和翻修牛津仪器致力于支持我们客户的成功。 我们认识到，这需要世界一流的产品辅以世界一流的支持。 我们的全球服务在各地分部的支持下，可为你在世界任何地方提供快速支持。
全球服务和支持
我们可以提供：
• 量身定制的服务协议，以满足您的需求
• 全方位的培训课程结构
• 立即进入真正的备件和配件
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服务中心 |
零件中心 |
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欧洲和中东 Montevrain,法国 美国 Arizona, 美国 |
亚洲 北京, 中国 Tokyo, 日本 |
亚洲 Shanghai, China 欧洲，中东，非洲 Bristol，英国 美国 Concord, MA, 美国 |
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高性能和高均一性的工艺意味着生产力和设备使用效率的提高。 加上出色的可靠性，就可以降低拥有牛津仪器工艺设备的成本。在牛津仪器防性维护和打包服务合同的支持下，可确保系统运行时间最大化。
