IonFab ® 500Plus -高精度沉积离子束设备
专为超优质光学薄膜设计的Ionfab500Plus于1983年推出，是世界上第一个用于制造环形激光陀螺仪的商业离子束溅射沉积系统。 在最近几年的客户的使用已经表明商用系统中的Ionfab500Plus可使镜面误差<20ppm。
该Ionfab500Plus已为满足客户的大产量需求而做了改进。 使用了4x10"的行星式底盘，可使用14"靶材。另一个满足客户高产量需求的优点是可使用3个靶，这意味着可沉积不同的材料而不用破坏真空。
我们的工作与我们的客户密切结合，以开发新的和根据客户应用需要而定制的工艺;请与我们联系以了解详细信息。
- 高品质的镜面镀层
使用Ionfab 500Plus制备高精度光学薄膜
高品质的镜面镀层
为633nm光波45°入射制作的镜面的透射谱线，镀层使用Ionfab500Plus沉积：
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晶面损耗 |
< 40 ppm |
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均匀性 |
< ± 0.0005 |
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表面粗糙度 |
< 0.11nm |
可以对折射率进行控制并拥有优异的均匀性，适合大规模生产。
为633nm光波45°入射制作的镜面的透射谱线
