外延生长InxGa1-xN—外延氮化铟镓

InxGa1-xN外延层的典型参数

InN组分（x）	X射线衍射（002）面ω扫描摇摆曲线的半高全宽，弧秒	厚度，微米
0.05-0.2	<900	0.02-0.5

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