刻蚀Ti—超大刻蚀深度

电感耦合等离子体源

•  ICP 65适用于最大为2英寸的晶圆
•  ICP 180适用于最大为100mm的晶圆
•  ICP 380适用于最大为200mm的晶圆
•  更小尺寸的晶圆均可以适用以上设备进行刻蚀

           超大刻蚀深度的钛刻蚀