LIGA技术：具有高纵横比的各向异性的PMMA反应离子刻蚀

热膜压印是一种简单的微结构复制方法。在真空中，一个成型模具被压入一块被加热的热塑性聚合物中。为了随后的金属互补结构的电铸，不可避免的留在衬底和成型模具之间的残余聚合物层必须采用反应离子刻蚀去除。

• PMMA结构的高度：150微米
• 去除残余层的厚度：30微米
• 最窄的槽宽：8微米
• 最薄的PMMA侧壁：10微米
• 垂直刻蚀速率：6微米/小时
• 水平刻蚀速率：0.7微米/小时

联系我们