刻蚀Mo—刻蚀钼

刻蚀Mo—刻蚀钼

侧壁85度的各向异性刻蚀200纳米钼

结果:

• 速率：钼30-120 纳米/分钟
• 外形：各向异性（倾斜角80-87度）
• 均匀性：公差+ 5%
• 对光刻胶的选择比1：1

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