• 平行板系统• 冷却的基板电极• 13.56兆赫兹等离子体激励
结果:
• 速率：大约3纳米/分钟• 对钛掩模的选择比大约20：1• 光滑的底部
（本速率可以通过增加转移到铌酸锂上的掩模面而提高）
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