感应耦合等离子体刻蚀BCB—刻蚀苯并环丁烯

BCB被用于各种应用，包括制造砷化镓集成电路，砷化镓芯片的植球和连线重排，以及平板显示中的平整化和绝缘。同时，由于它具有低介电常数，在电子工业的许多应用中被用作电介质材料。