大面积电制冷能谱探测系统：X-Max-----保证分辨率123eV
牛津仪器最近发布的大面积电制冷能谱系统X-Max比常规的EDS探头高达10倍的立体角，仍然保持优异的探测性能，因此用户可以在高图像分辨率的条件下同时进行快速的成分分析和面扫描。
X-Max系列产品的探头有效工作面积有3种尺寸: 20mm², 50mm², 和 80mm²，所有探头具备相同优异的分析性能。
- 优势
- 特点
- 大面积探测晶体
- 应用
- 轻元素的分析性能
X-Max真正发挥了SDD探头的优势:
- 计数率高，精确度高
<200,000cps下准确自动定量分析 - 灵敏度高，有效分析轻元素
探头面积最大，分辨率最高 - 纳米尺度颗粒的有效鉴别
最大限度收集X-ray信号，检测灵敏度更高 - 有效分析复杂样品
几乎不会对样品产生损伤或污染 - Inca Energy软件全程支持，使分析更简单，结果更可靠
超大面积的探测晶体，最大有效面积达80mm²
1. 独一无二的大面积SDD探头
2. 高达80mm2的有效活区（100mm2晶体尺寸）
3. 输入计数率>500,000cps
4. 采集计数率>200,000cps
5. Mn K 典型分辨率<125eV，C Ka<48eV
6. 独特的电子陷阱设计使采集角更大
7. 高真空封装，极大地降低低能X射线的损失
8. 专用的SDD脉冲处理器
9. 探头外观尺寸与10mm2探头相同
10. 探头自动伸缩控制
11. 高计数下的谱峰校正
2. 高达80mm2的有效活区（100mm2晶体尺寸）
3. 输入计数率>500,000cps
4. 采集计数率>200,000cps
5. Mn K 典型分辨率<125eV，C Ka<48eV
6. 独特的电子陷阱设计使采集角更大
7. 高真空封装，极大地降低低能X射线的损失
8. 专用的SDD脉冲处理器
9. 探头外观尺寸与10mm2探头相同
10. 探头自动伸缩控制
11. 高计数下的谱峰校正
为什么成分分析需要大面积能谱探头？
随着探测晶体面积的增大，单位时间内探头接收到的x射线的计数也会相应的增加。在过去，SDD的探测晶体只能做到40mm²，但是现在SDD的晶体的面积已经达到了80mm²。
探测晶体面积的增大意味着什么呢:
- 无需改变任何条件，探头可以采集到10倍x射线计数，大大提高了工作效率
- 节约大量的分析时间
- 计数的增加降低了统计误差，提高定量分析的准确度
- 低束流低电压下的高计数率
- 在与成像相同的束流条件下进行面扫描
- 真正的纳米级的成分分析，最小分析颗粒达30nm
- 能够分析不稳定样品及生物样品
达到相同的计数率80mm2 X-Max 探头所需要的束流强度仅为10mm2 SDD的八分之一到十分之一。因此，大面积的X-Max能谱系统更适合分析对电子束敏感的样品或生物样品。
纳米级成分分析
要分析基体中细小的析出颗粒，需要降低加速电压减小束流来减小电子束与样品的作用体积。然而，作用体积减小就意味着X射线的产额将大大降低。在过去，要分析细小的析出颗粒，唯一的途径是延长图谱的采集时间，但是往往由于图像的漂移而影响分析的结果。
采用大面积的能谱探头，真正的纳米级的成分分析成为可能。右图显示的是镍基高温合金样品中细小的碳化物和硼化物的面分析结果。样品的分析条件为5kV 13,000cps进行，小于30nm的析出颗粒清晰可见。
高计数率的面分析
SDD的优势在于能够在比Si(Li)探头更高的计数率下工作。 X-Max的高计数率使得成分分析在数秒内完成。右图是大理石样品的面扫描结果，采集条件为20kV, 400kcps, 数据采集时间为60秒。
X-Max探头的轻元素分析能力完全符合ISO15632:2002
国际标准。该标准指出如何测量分辨率以及如何检测能
谱探头的性能。
X-Max的碳的最佳分辨率为48eV。即使比B元素的X-ray
能量更低的SiLI线也可以轻松检测。
图中所示为轻元素的图谱。
国际标准。该标准指出如何测量分辨率以及如何检测能
谱探头的性能。
X-Max的碳的最佳分辨率为48eV。即使比B元素的X-ray
能量更低的SiLI线也可以轻松检测。
图中所示为轻元素的图谱。
