ZnO ALD（单热型）—沉积氧化锌原子层

ZnO ALD（单热型）—沉积氧化锌原子层
用于原子层沉积的OpAL

氧化锌原子层沉积
  • 源：二乙基锌
  • 无金属源：水
  • 温控蒸汽提取
  • 快速脉冲原子层沉积阀控制剂量
  • 沉积温度50-200 oC
  • 周期时间4秒

-每周期厚度 1.9 埃（饱和剂量）

  • 电阻率5 x10-4 欧姆•厘米
  • 150oC下的碳杂质小于2%
  • 均匀性：100mm直径范围内公差小于± 1%
  • 重复性：± 1%
  • 折射率：1.90-1.95
  • Zn:O = 1：1
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