Cryo-Plex 8LP (low profile) 低温泵

在部分半导体生产设备里，低温泵的安装收到空间限制，此时Cryo-Plex 8LP 低温泵是很好的选择。

标准设计

Austin Scientific的Cryo-Plex 系列低温泵、压缩机可以与Helix品牌的CryoTorr系列低温泵、压缩机相互兼容和替换，从而大大方便使升级、维修、交换等服务。

灵活配置

ANSI、ISO、CF等多种法兰接口

Cryo-Plex 8LP
Gas Pumping speeds - liters/second
Water	4,000
Air	1,500
Hydrogen	2,200
Argon	1,200
Gas capacities - standard liters @ 5x10-6 Torr
Hydrogen	12
Argon	1,000
Throughput
Argon sccm	700
Crossover
Torr-liters	150
Cool down time
60 Hertz	90 min
Cryopump measurements
Height	7.03"
Length	22.6"
Weight LBS	42
Inlet flange	ANSI/ISO/CF

请点击这里如果您希望得到更多的信息或帮助