典型应用:溅射、离子注入、表面分析、粒子加速器、研发型的钟罩式系统,以及其他的真空系统
灵活配置
ANSI、ISO、CF等多种法兰接口
标准设计
Austin Scientific的Cryo-Plex 系列低温泵、压缩机可以与Helix品牌的CryoTorr系列低温泵、压缩机相互兼容和替换,从而大大方便使升级、维修、交换等服务。
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Cryo-Plex 8 |
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Gas pumping speeds - liters/second |
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Water |
4,000 |
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Air |
1,500 |
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Hydrogen |
2,500 |
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Argon |
1,200 |
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Gas capacities - standard liters @ 5x10-6 Torr |
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Hydrogen |
18 |
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Argon |
1,000 |
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Throughput |
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Argon sccm |
700 |
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Cool down time |
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60 Hertz |
90 min |
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Cryopump measurements |
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Height |
20.7" |
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Weight LBS |
45 |
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Inlet flange |
ANSI/ISO/CF |
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