Cryo-Plex 16 低温泵
对需要洁净、无油的高真空排气方案的大型箱式镀膜、空间模拟、电子束沉积等诸多应用来说，Cryo-Plex 16 低温泵是一个典型配置。
- 附加信息
- 规格
灵活配置
ISO、CVC等法兰接口
标准设计
Austin Scientific的Cryo-Plex 系列低温泵、压缩机可以与Helix品牌的CryoTorr系列低温泵、压缩机相互兼容和替换，从而大大方便使升级、维修、交换等服务。
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Cryo-Plex 16 |
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Gas pumping speeds - liters/second |
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Water |
16,000 |
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Air |
5,000 |
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Hydrogen |
5,000 |
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Argon |
4,200 |
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Gas capacities - standard liters @ 5x10-6 Torr |
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Hydrogen |
15 |
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Argon |
2,500 |
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Throughput |
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Argon sccm |
500 |
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Crossover |
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Torr-lites |
300 |
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Cool down time |
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60 Hertz |
150 min |
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Cryopump measurements |
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Height |
24" |
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Length |
22.6" |
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Inlet flange |
ISO/CVC |
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