微机电系统
牛津仪器微机电系统解决方案
随着MEMS行业预计2009年到20141之间将有望呈现翻一番的增长，新的机电系统应的开发和商业化正在走实现进程。
可以看到传统设备如加速度、陀螺仪和麦克风等仍然被应用到在许多消费电子产品、显示器和自动装备。
现实情况是，MEMS可以提供一个解决方案，其中有对设备或逐渐小型化的传感器的要求。研发阶段的新兴器件包括能源收获器、扬声器、RFID、微型投影机，振荡器，微型燃料电池，以及自动对焦技术。
牛津仪器公司等离子技术将继续提供技术，解决MEMS市场现有的和新兴的应用问题。有了广泛的工艺和应用组合，将实现了现在和将来的工艺鉴定。
在这一市场领域牛津仪器公司提供的工艺技术：
- 深硅蚀刻使用交换（Bosch）工艺或冷冻技术
- 等离子增强化学气相沉积（PECVD）
- 原子层沉积（ALD）
- 磁控溅射沉积
