生态位和新兴技术
生态位和新兴技术的市场涵盖不同的应用--从纳米技术的到广泛基础的学术研究
随着中央政府划拨资金的刺激手段引起全球性范围内研发领域的持续的扩展,许多在这一领域的应用都有望看到的中期持续增长。
牛津仪器公司等离子技术将继续提供技术支持,为客户解决物质研发中的首要问题。凭借广泛的产品组合,我们将会为今天的研究以及明日产品提供更为广泛的关键行业应用。
工艺技术
由牛津仪器在这一市场领域提供的工艺技术包括:
- 反应离子刻蚀 (RIE)
- 感应耦合等离子刻蚀 (ICP)
- 感应耦合等离子化学气相沉积(ICP - CVD)
- 等离子化学气相沉积(PECVD)
- 原子层沉积 (ALD)
- 磁控溅射沉积 (PVD)
- 反应离子束刻蚀(RIBE)
- 离子束沉积 (IBD)